स्पिन कोटिंग मशीन

इंटरमीडिएट फ़्रीक्वेंसी स्पटरिंग भी एक तरह का मैग्नेट्रोन स्पटरिंग है।

कई प्रकार के मैग्नेट्रोन स्पटरिंग हैं, जिन्हें डीसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, रेडियो फ़्रीक्वेंसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, और इंटरमीडिएट फ़्रीक्वेंसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग में उपयोग किए गए पावर स्रोत के अनुसार विभाजित किया जा सकता है। डीसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग में उपयोग की जाने वाली बिजली आपूर्ति डीसी उच्च वोल्टेज बिजली की आपूर्ति है, आमतौर पर 300-1000 वी, जो बाद की अवधि में तेजी से स्पटरिंग दर, कम लागत और सस्ते रखरखाव की विशेषता है। हालांकि, केवल धातु के लक्ष्यों को ही फेंका जा सकता है। यदि लक्ष्य एक इन्सुलेटर है, जैसे-जैसे स्पटरिंग आगे बढ़ती है, लक्ष्य बड़ी मात्रा में चार्ज जमा करेगा, जिसके परिणामस्वरूप स्पटरिंग जारी रखने में असमर्थता होगी। इसलिए, डीसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग का उपयोग आमतौर पर धातु के लक्ष्यों के लिए किया जाता है। इसकी कम लागत और सरल संरचना के कारण, इसका व्यापक रूप से उद्योग में उपयोग किया जाता है। आरएफ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग में उपयोग की जाने वाली आरएफ बिजली की आपूर्ति की आवृत्ति आमतौर पर 13.56 मेगाहर्ट्ज होती है, जो इस समस्या को हल कर सकती है कि डीसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग इंसुलेटिंग लक्ष्यों को स्पटर नहीं कर सकता है। आरएफ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग की विशेषताएं हैं: दोनों इन्सुलेट लक्ष्य और धातु लक्ष्य स्पटर किए जा सकते हैं, और फिल्म और सब्सट्रेट के बीच आसंजन मजबूत है। हालांकि, जटिल संरचना और उपकरण के कारण, आरएफ बिजली की आपूर्ति की उच्च कीमत, उच्च रखरखाव लागत, मानव शरीर को विकिरण, और बाहरी मिलान नेटवर्क की आवश्यकता, यह औद्योगिक उत्पादन के लिए उपयुक्त नहीं है। इंटरमीडिएट फ़्रीक्वेंसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग का उपयोग अक्सर प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग के लिए धातु यौगिक फिल्मों को तैयार करने के लिए किया जाता है। आर्गन के अलावा, इन प्रतिक्रियाशील गैसों के अणुओं को लक्ष्य सामग्री के परमाणुओं के साथ जमा करने के लिए गुहा में थोड़ी मात्रा में प्रतिक्रियाशील गैसों जैसे नाइट्रोजन, ऑक्सीजन आदि को जोड़ा जाता है। एक धातु यौगिक फिल्म बनाने के लिए सब्सट्रेट पर। चूंकि डीसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग का व्यापक रूप से उद्योग में उपयोग किया जाता है, मैग्नेट्रोन स्पटरिंग टेबल में एक वैक्यूम सिस्टम, एक स्पटरिंग कोटिंग सिस्टम, एक गैस और एक नियंत्रण प्रणाली शामिल होती है।

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