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थर्मल वाष्पीकरण में एक ठोस सामग्री को गर्म करना शामिल होता है जिसका उपयोग एक उच्च वैक्यूम कक्ष के अंदर एक सब्सट्रेट को तब तक कोट करने के लिए किया जाएगा जब तक कि यह उबलना शुरू न हो जाए और वाष्प के दबाव को वाष्पित न कर दे। निर्वात निक्षेपण कक्ष के अंदर, अपेक्षाकृत कम वाष्प दाब भी वाष्प बादल को ऊपर उठाने के लिए पर्याप्त होता है। यह वाष्पित सामग्री अब एक वाष्प धारा का निर्माण करती है जिसे निर्वात अन्य परमाणुओं के खिलाफ प्रतिक्रिया या बिखरने के बिना यात्रा करने की अनुमति देता है। यह कक्ष को पार करता है और सब्सट्रेट को हिट करता है, इसे एक कोटिंग या पतली फिल्म के रूप में चिपकाता है।

थर्मल वाष्पीकरण और थर्मल वाष्पीकरण प्रक्रिया

थर्मल वाष्पीकरण में एक ठोस सामग्री को गर्म करना शामिल होता है जिसका उपयोग एक उच्च वैक्यूम कक्ष के अंदर एक सब्सट्रेट को तब तक कोट करने के लिए किया जाएगा जब तक कि यह उबलना शुरू न हो जाए और वाष्प दबाव उत्पन्न न हो जाए। निर्वात निक्षेपण कक्ष के अंदर, अपेक्षाकृत कम वाष्प दाब भी वाष्प बादल को ऊपर उठाने के लिए पर्याप्त होता है। यह वाष्पित सामग्री अब एक वाष्प धारा का निर्माण करती है जिसे वैक्यूम अन्य परमाणुओं के खिलाफ प्रतिक्रिया या बिखरने के बिना यात्रा करने की अनुमति देता है। यह कक्ष को पार करता है और सब्सट्रेट को हिट करता है, इसे एक कोटिंग या पतली फिल्म के रूप में चिपकाता है।

थर्मल वाष्पीकरण के दौरान स्रोत सामग्री को गर्म करने के दो प्राथमिक तरीके हैं। एक को फिलामेंट वाष्पीकरण के रूप में जाना जाता है, क्योंकि यह एक साधारण विद्युत ताप तत्व या फिलामेंट के साथ प्राप्त किया जाता है। अन्य सामान्य ताप स्रोत एक इलेक्ट्रॉन बीम या ई-बीम वाष्पीकरण है जहां एक इलेक्ट्रॉन बीम का उद्देश्य स्रोत सामग्री को वाष्पित करना और गैस चरण में प्रवेश करना है।

पतली फिल्म वाष्पीकरण प्रणाली अपेक्षाकृत उच्च जमाव दर, वास्तविक समय दर और मोटाई नियंत्रण, और (उपयुक्त भौतिक विन्यास के साथ) प्रत्यक्ष पैटर्न वाले कोटिंग्स प्राप्त करने के लिए लिफ्ट ऑफ जैसी प्रक्रियाओं के लिए अच्छा वाष्पीकरण धारा दिशात्मक नियंत्रण प्रदान कर सकती है।


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