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आयन कोटिंग मशीन मुख्य रूप से एक प्रकार की कोटिंग को संदर्भित करती है जिसे उच्च वैक्यूम के तहत किया जाना चाहिए, जिसमें वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग मशीन, वैक्यूम मल्टी-आर्क आयन कोटिंग मशीन, वैक्यूम इंटरमीडिएट फ्रीक्वेंसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग मशीन, बहु-कार्यात्मक मध्यवर्ती सहित कई प्रकार शामिल हैं। आवृत्ति मैग्नेट्रोन स्पटरिंग मल्टी-आर्क कम्पोजिट आयन कोटिंग मशीन, वैक्यूम ऑप्टिकल (इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण) कोटिंग मशीन और वैक्यूम कोटिंग उपकरण की अन्य श्रृंखला, मुख्य विचार दो प्रकार के वाष्पीकरण और स्पटरिंग में विभाजित है।
आयन कोटिंग मशीन मुख्य रूप से एक प्रकार की कोटिंग को संदर्भित करती है जिसे हाईवैक्यूम के तहत करने की आवश्यकता होती है, जिसमें कई प्रकार शामिल हैं, जिसमें वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग मशीन, वैक्यूम मल्टी-आर्क आयन कोटिंग मशीन, वैक्यूम इंटरमीडिएट फ़्रीक्वेंसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग मशीन, मल्टी-फंक्शनल इंटरमीडिएट फ़्रीक्वेंसी मैग्नेट्रोन शामिल हैं। स्पटरिंग मल्टी-आर्क कम्पोजिट आयन कोटिंग मशीन, वैक्यूम ऑप्टिकल (इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण) कोटिंग मशीन और वैक्यूम कोटिंग उपकरण की अन्य श्रृंखला, मुख्य विचार दो प्रकार के वाष्पीकरण और स्पटरिंग में विभाजित है।
आयन स्पटरिंग कोटिंग्स ज्यादातर प्रतिक्रियाशील गैसों की उपस्थिति में की जाती हैं, और यौगिक जमा फिल्मों की स्थिरता और ऑप्टिकल स्थिरांक गैस और कैथोड सामग्री के प्रकार पर निर्भर करते हैं। आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली प्रतिक्रियाशील गैस ऑक्सीजन होती है, और आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली कैथोड सामग्री लोहा, निकल, तांबा, सीसा, आदि होती है, और कभी-कभी इलेक्ट्रो-मेटालिक सोना, प्लैटिनम, पैलेडियम, इंडियम और अन्य धातुएं होती हैं। प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग द्वारा गठित ऑक्साइड अवशोषण के साथ एक कोटिंग सामग्री है लेकिन बहुत उच्च अपवर्तक सूचकांक नहीं है।

स्पटर कोटिंग का संचालन स्पटर कोटिंग उपकरण से निकटता से संबंधित है। वर्तमान में व्यावसायिक रूप से अच्छी तरह से परिष्कृत उपकरण उपलब्ध हैं जो माइक्रोस्कोप के तहत चरण की स्थिति में लगे होते हैं। स्पटरिंग कोटिंग करते समय, पॉलिश किए गए नमूने को पैटर्न हेड पर रखें, इसे इलेक्ट्रॉन गन (कैथोड) के सामने की स्थिति में झुकाएं, स्पटरिंग चैंबर, ग्लोडिस्चार्ज, कैथोड स्पटरिंग और रिएक्टिव स्पटरिंग डिपोजिशन में हवा के दबाव को समायोजित करें। एक निश्चित अवधि के बाद, स्पटरिंग बाधित हो जाती है, स्पटरिंग द्वारा जमा किए गए नमूने की सतह को ऑब्जेक्टिव लेंस के सामने की स्थिति में वापस कर दिया जाता है, और जमा की गई फिल्म की मोटाई का मूल्यांकन करने के लिए नमूने की सतह का रंग देखा जाता है। जब आवश्यक रंग प्राप्त हो जाता है, तो कोटिंग ऑपरेशन बंद कर दिया जाता है।

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